Na técnica de deposição de filmes finos, é desejável, entre outros requisitos,

Gabarito

Errado

Comentário do professor

Na deposição de filmes finos, estequiometria controlada significa manter a proporção correta entre os elementos do filme durante o processo de deposição. Isso é crucial porque a composição determina as fases formadas, a concentração de defeitos (vacâncias, intersticiais) e, por consequência, as propriedades finais do material.

Uma estequiometria precisa garante propriedades elétricas e óticas previsíveis (condutividade, banda proibida, perda óptica), além de influenciar tensão residual, aderência e resistência à corrosão. Pequenas variações composicionais podem alterar drasticamente desempenho em dispositivos.

Alcança‑se controle por ajuste dos fluxos de vapor/partículas, taxas de deposição, pressões parciais de gases, temperatura do substrato e tratamentos térmicos; o monitoramento in situ (ex.: QCM, espectrometria de massa, RHEED) assegura reprodutibilidade e uniformidade.